РОЗДІЛ 1. Закони і положення теорії електродних процесів
Завдання на СРС. Діаграм Пурбе.
Завдання на СРС. Основні принципи кінетики електродних процесів
Завдання на СРС. Кінетика електродних реакцій на напівпровідникових електродах.
РОЗДІЛ 2. Процеси анодного розчинення в технології мікро- та наноструктур
Завдання на СРС. Початкові стадії формування пор.
Завдання на СРС. Застосування пористого кремнію в технології створення структур «кремній на ізоляторі».
Завдання на СРС. Пористий кремній у технології інтегральних оптичних пристроїв.
РОЗДІЛ 3. Анодні оксидні плівки, в технології напівпровідників і твердотільних наноструктур
Завдання на СРС. Механізм утворення бар’єрних анодних оксидних шарів.
Завдання на СРС. Автографія дефектних областей поліізолірующего GaAs.
Завдання на СРС. Метод локального зондового окислення.
Завдання на СРС. Оптичні властивості пористого оксиду алюмінію.
Завдання на СРС. Приклади застосування пористого оксиду алюмінію.
РОЗДІЛ 4. Катодне осадження в технології мікро- та наноструктур
Завдання на СРС. Основні підходи: осадження на граничному струмі дифузії, введення ПАР, введення лігандів.
Завдання на СРС. Режим осадження (потенціостатичний і гальванічний)
Завдання на СРС. УФ-літорграфіі і жертовного шару.
Завдання на СРС. Кремній, його властивості.
Завдання на СРС. Реверсний режим.
